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電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對(duì)的被測(cè)物體。如果有穩(wěn)定交流電通過(guò)傳感器，輸出交流電的電壓會(huì)與傳感器到被測(cè)物體之間的距離成正比關(guān)系，從而可以通過(guò)測(cè)量電壓的變化得到距離信息。電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線(xiàn)性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中電容式傳感器可以實(shí)現(xiàn)近乎的線(xiàn)性測(cè)量。但是，電容傳感器要求探...

顯微鏡秒變光刻機(jī)！--顯微鏡LED曝光單元電子顯微鏡和光刻機(jī)，兩個(gè)看上去風(fēng)馬牛不相及的東西，是如何結(jié)合到一起的？我們向您介紹一款無(wú)掩膜顯微鏡LED曝光單元UTA-3A-53M，能令顯微鏡秒變光刻機(jī)！該設(shè)備是一種具有高性?xún)r(jià)比的曝光裝置，其DLP固定在顯微鏡的三目鏡部分，而照相機(jī)則固定在目鏡部分?？梢詫?zhuān)用程序產(chǎn)生的圖案投影并在顯微鏡下曝光在樣品上。＜特征＞?顯微鏡LED曝光單元UTA系列是用于光刻的無(wú)掩模圖案投影曝光設(shè)備。?使用金屬顯微鏡和LED光源DLP投影儀，將分辨率為幾μ...

FR-Scanner-AIO-Mic-XY200:微米級(jí)定位精度自動(dòng)化薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)介紹FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)，用于全自動(dòng)圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測(cè)量。電動(dòng)X-Y載物臺(tái)提供適用尺寸200mmx200mm毫米的行程,通過(guò)真空固定在載臺(tái)上時(shí)進(jìn)行精確測(cè)量?？梢罍y(cè)量厚度和波長(zhǎng)范圍應(yīng)用需求可在在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置.應(yīng)用o大學(xué)&研究實(shí)驗(yàn)室o半導(dǎo)體（氧化物、氮化物、Si、抗蝕劑等）oMEMS器件（光刻...

1.摘要本研究探討了同質(zhì)外延生長(zhǎng)的4H-SiC晶片表面堆垛層錯(cuò)(SF)的形貌特征和起因。依據(jù)表面缺陷檢測(cè)設(shè)備KLA-TencorCS920的光致發(fā)光(PL)通道和形貌通道的特點(diǎn),將SF分為五類(lèi)。其中I類(lèi)SF在PL通道圖中顯示為梯形,在形貌圖中不顯示;II類(lèi)SF在PL通道圖中顯示為三角形,且與I類(lèi)SF重合,在形貌圖中顯示為胡蘿卜形貌。III-V類(lèi)SF在PL通道圖中均顯示為三角形,在形貌圖中分別顯示為胡蘿卜、無(wú)對(duì)應(yīng)圖像或三角形。研究結(jié)果表明,I類(lèi)SF起源于襯底的基平面位錯(cuò)(BPD...

主動(dòng)式防震臺(tái)能夠克服一般光學(xué)平臺(tái)以及氣浮平臺(tái)低頻共振，配合Herzan的隔音箱能夠隔絕空氣的擾動(dòng)，能夠給精密測(cè)量提供的振動(dòng)隔離，適用于時(shí)間頻率測(cè)量、原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)。它的主動(dòng)防震系統(tǒng)是基于先進(jìn)技術(shù)的，它兼?zhèn)涠噙_(dá)三個(gè)獨(dú)立的主動(dòng)隔振層和兩個(gè)被動(dòng)隔振層。這種系統(tǒng)架構(gòu)的廣泛靈活性允許KS系統(tǒng)在安裝中獲得最大的性能，特別是在典型防震系統(tǒng)無(wú)法使用的情況下。主動(dòng)式防震臺(tái)可用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，提高精密設(shè)備的性能。流線(xiàn)型的結(jié)構(gòu)設(shè)...