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硅片厚度測(cè)量?jī)x操作指南,從精準(zhǔn)校準(zhǔn)到數(shù)據(jù)溯源的標(biāo)準(zhǔn)化流程
2025-04-29

在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)等精密制造領(lǐng)域,硅片厚度是影響芯片性能、太陽(yáng)能電池效率的核心參數(shù)之一。硅片厚度測(cè)量?jī)x作為一種高精度檢測(cè)工具,其正確的操作方法直接關(guān)系到測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。本文從基礎(chǔ)到進(jìn)階,系統(tǒng)解析測(cè)量?jī)x的操作要點(diǎn),助力工程師快速掌握這一...

  • 2022-02-15

    接觸式光刻機(jī)是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。主要構(gòu)成:主要由對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統(tǒng)、LED曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級(jí)防震工作臺(tái)和附件箱等組成。接觸式光刻機(jī)的使用原理:其實(shí)在我國(guó)對(duì)于接觸式光刻機(jī),曝光時(shí)掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點(diǎn)是可以使用價(jià)格較低的設(shè)備制造出較小的特征尺寸。我們也許不知道接觸式光刻和深亞微米光源已經(jīng)達(dá)到了小于0.1gm的特征尺寸,常用的光源分辨率...

  • 2022-02-14

    硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺(tái)計(jì)算機(jī)控制的XY工作臺(tái),使其快速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。工作原理:本產(chǎn)品采用電磁感應(yīng)法測(cè)量涂層的厚度。位于部件表面的探頭產(chǎn)生一個(gè)閉合的磁回路,隨著探頭與鐵磁性材料間的距離的改變,該磁回路將不同程度的改變,引起磁阻及探頭線圈電感的變化。利用這一原理可以精確地測(cè)量探頭與鐵磁性材料間的距離,即涂層厚度。硬化涂層膜厚儀的符合...

  • 2022-02-10

    去膠工藝是微加工過(guò)程中一個(gè)重要的過(guò)程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對(duì)樣片是否有損傷等問(wèn)題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。等離子去膠性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。產(chǎn)品具有去膠快速*;對(duì)樣片無(wú)損傷;操作簡(jiǎn)單安全;設(shè)計(jì)緊湊美觀;產(chǎn)品性價(jià)比高等...

  • 2022-01-23

    紅外激光測(cè)厚儀是用來(lái)測(cè)量材料及物體厚度的儀表,它常用來(lái)連續(xù)或抽樣測(cè)量鋼板、鋼帶、薄膜、紙張、金屬箔片等材料等產(chǎn)品的厚度。目前國(guó)內(nèi)廠家普遍采用人工測(cè)量和控制的方法來(lái)管控板材的厚度,這存在著測(cè)量精度差的、成材率低等弊端,因此采用專業(yè)的測(cè)厚儀來(lái)能有效地改善測(cè)控環(huán)境,提高生產(chǎn)效率、提高成材率和產(chǎn)品質(zhì)量。目前本產(chǎn)品主要應(yīng)用于鋰電池正、負(fù)極涂布、鋰電池正、負(fù)極輥壓的厚度測(cè)量,以實(shí)際情況為例,使用時(shí),可放置激光測(cè)厚儀于銀壓后和收卷前,在具有極片張力波動(dòng)和銀壓機(jī)振動(dòng)的復(fù)雜工況下測(cè)量設(shè)備使用浮...

  • 2022-01-18

    電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國(guó)內(nèi)研究所,高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用,成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測(cè)試儀器。應(yīng)用范圍:主要用于解決下述各種測(cè)量問(wèn)題:壓電微位移、振動(dòng)臺(tái),電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測(cè)量等。性能:電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料,極板間襯物多為無(wú)機(jī)材料,如空氣、玻璃、陶瓷、石英...

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