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EVG620 NT-掩模對準光刻機系統(tǒng)

簡要描述:EVG620 NT-掩模對準光刻機系統(tǒng)EVG ® 620 NT提供國家的本領域掩模對準技術在小化的占位面積,支持高達150毫米晶圓尺寸。

  • 產(chǎn)品型號:Dymek岱美儀器
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
  • 更新時間:2025-04-08
  • 訪  問  量: 6410

詳細介紹

一、產(chǎn)品特色

EVG620 NT-掩模對準光刻機系統(tǒng)|接觸式光刻機提供國家的本領域掩模對準技術在小化的占位面積,支持高達150毫米晶圓尺寸。

二、結構功能

EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著稱,在小的占位面積上結合了先進的對準功能和優(yōu)化的總體擁有成本,提供了先進的掩模對準技術。它是光學雙面光刻的理想工具,可提供半自動或自動配置以及可選的全覆蓋Gen 2解決方案,以滿足大批量生產(chǎn)要求和制造標準。擁有操作員友好型軟件,短的掩模和工具更換時間以及高效的球服務和支持,使它成為任何制造環(huán)境的理想解決方案。

EVG620 NT或*容納的EVG620 NT Gen2掩模對準系統(tǒng)配備了集成的振動隔離功能,可在各種應用中實現(xiàn)出色的曝光效果,例如,對薄而厚的光刻膠進行曝光,對深腔進行構圖并形成可比的形貌,以及對薄而易碎的材料(例如化合物半導體)進行加工。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。

三、EVG620 NT-接觸式光刻機特征

 晶圓/基板尺寸從小到150 mm / 6''  系統(tǒng)設計支持光刻工藝的多功能性
 易碎,薄或翹曲的多種尺寸的晶圓處理,更換時間短  帶有間隔墊片的自動無接觸楔形補償序列
 自動原點功能,用于對準鍵的確居中  具有實時偏移校正功能的動態(tài)對準功能
 支持新的UV-LED技術  返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)
 自動化系統(tǒng)上的手動基板裝載功能  可以從半自動版本升級到全自動版本
 小化系統(tǒng)占地面積和設施要求  多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
 先進的軟件功能以及研發(fā)與全面生產(chǎn)之間的兼容性  便捷處理和轉換重組
 遠程技術支持和SECS / GEM兼容性  


四、附加功能

1.鍵對準

2.紅外對準

3.納米壓印光刻(NIL)


五、EVG620 NT技術數(shù)據(jù)

 曝光源  汞光源/紫外線LED光源
 先進的對準功能  手動對準/原位對準驗證
 自動對準  動態(tài)對準/自動邊緣對準

 對準偏移校正算法

 EVG620 NT產(chǎn)能  全自動:一批生產(chǎn)量:每小時180片

 全自動:吞吐量對準:每小時140片晶圓

 晶圓直徑(基板尺寸):高達150毫米

 對準方式  上側對準:≤±0.5 µm

 底側對準:≤±1,0 µm

 紅外校準:≤±2,0 µm /具體取決于基材

 鍵對準:≤±2,0 µm

 NIL對準:≤±3.0 µm

 曝光設定  真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
 楔形補償  全自動軟件控制
 曝光選項  間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光


六、系統(tǒng)控制

操作系統(tǒng)

 Windows

 文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)

多語言用戶GUI和支持

 CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR

 實時遠程訪問,診斷和故障排除

工業(yè)自動化功能  盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理
納米壓印光刻技術  SmartNIL

 

七、機器外形展示

 


八、案例展示

 

案例圖

 

 

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