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FR-uProbe-LC: 可測量小至幾微米的光斑尺寸應(yīng)用，例如微圖案表面、高粗糙度表面的樣品等等只需單擊鼠標(biāo)即可在 Vis/NIR波長范圍中測量微小區(qū)域薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、反射率、透射率和吸光度

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動(dòng)薄膜厚度測繪系統(tǒng)，用于全自動(dòng)圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動(dòng)X-Y載物臺(tái)提供適用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程，通過真空固定在載臺(tái)上時(shí)進(jìn)行精確測量。可依測量厚度和波長范圍應(yīng)用需求可在在 200-1700nm 光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置

系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù)，是國內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測的系統(tǒng)。

QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)相結(jié)合，可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達(dá) 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。

硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。

FR-InLine 是一款模塊化可擴(kuò)展的在線薄膜厚度測量儀（膜厚儀），可進(jìn)行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。$nFR-InLine 膜厚儀并可以依據(jù)各種不同應(yīng)用設(shè)置多個(gè)參數(shù)的實(shí)時(shí)測量，例如：反射率和透射率光譜、厚度、色座標(biāo)。$nFR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標(biāo)準(zhǔn) Windws 10/11 中執(zhí)行。