三維形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對(duì)表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對(duì)二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤(pán)，圓度，球度，臺(tái)階高度，距離，面積，角度和體積進(jìn)行多范圍測(cè)量。
三維形貌儀是采用先進(jìn)的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級(jí)形貌測(cè)量?jī)x器，透過(guò)精密的掃描系統(tǒng)和解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測(cè)與分析。表面顯微成像能力與高精度測(cè)量的結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測(cè)到表面的三維輪廓、臺(tái)階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測(cè)量結(jié)果。
標(biāo)準(zhǔn)配置采用六軸手動(dòng)調(diào)整的載物平臺(tái)，可依據(jù)不同測(cè)試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動(dòng)載物平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)縫合之大面積高精度的量測(cè)要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測(cè)量和分析。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅(jiān)固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便而快速，只需把被測(cè)物體放置到載物臺(tái)，聚焦出干涉條紋，按下測(cè)量按鈕即可開(kāi)始整個(gè)測(cè)量過(guò)程。
三維形貌儀工作原理
它是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
三維形貌儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試，只需單擊按鈕，就能轉(zhuǎn)換成像模式。這種組合可以輕松地對(duì)任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢(shì)，并且各項(xiàng)技術(shù)彼此互補(bǔ)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成本，從而提高效率。
